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流量控制器分类

热式质量流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。

1．接触式热式质量流量器这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，适于测量气体的较大质量流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。

2．非接触式热式质量流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。

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流量控制器的原理是什么？

质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。流量控制器安全使用准则①质量流量控制器应用的成功与否，与安装有直接关系。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。

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